靜電過濾器可以除硅粉嗎?

由于目前濾芯使用條件下,未冷卻硅塵極為細小,質量極輕,易浮于太空,增大空間內的粉塵密度,且氬氣流量每分鐘*100ml,流速極低,除塵器選型受物理條件限制,而且,還會由于粉塵比電阻等特性影響除塵效率,使用濕式除塵可能使吸塵器進入真空泵而影響吸塵器壽命,袋式除塵器雖可捕集細粉、干粉,其除塵效率也很高,但由于空間有限,粉塵密度繼續(xù)升高,濾孔易堵塞,造成單晶爐出氣流量下降,降低了單晶爐的產量。


無論過濾方式如何,無非是一種對靜電的消除和導走,如果你說的是對靜電的消除和導走,那么需要借助一根靜電消除棒或對靜電的導走,如對靜電的毛刷類的導走,這樣做比較簡單;如果是對靜電的導走,如靜電繩,靜電毛刷類的導走;
